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產品詳情
  • 產品名稱:OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統SF-3Rθ

  • 產品型號:SF-3Rθ
  • 產品廠商:OTSUKA大塚電子
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簡單介紹:
SF-3Rθ OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統 *多可以快速映射12inch晶片OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統SF-3Rθ
詳情介紹:
SF-3Rθ

   OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統


SF-3RΘ

特長:
快速提供晶片內部的厚度信息。
支持多點映射測量。
*高可測量Φ300mm晶片的面內厚度。
用于半導體工藝裝置(例如晶片磨削裝置和臨時鍵合器)。
內置支持


測定項目
  • シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
  • テンポラリーウェーハ
スペック
構成図

構成図

測定例

■貼り合わせウェーハ(Si/ボンディング/サポート基板)

サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ

Si膜厚分布(約775μm)
 

マッピング結果 研削後300mmウェーハシリコン厚み
ボンディング膜厚分布(約15μm)


OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統SF-3Rθ


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